中信证券股份有限公司关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的核查意见

中信证券股份有限公司

关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司

部分募投项目变更实施地点、实施方式

并调整内部投资结构的核查意见

中信证券股份有限公司（以下简称“中信证券”或“保荐人”）作为深圳市恒运昌真空技术股份有限公司（以下简称“恒运昌”或“公司”）首次公开发行股票并在科创板上市持续督导阶段的保荐人，根据《证券发行上市保荐业务管理办法》《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1 号——规范运作》等法律法规，对恒运昌部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的事项进行了审慎核查，发表意见如下：

一、变更募集资金投资项目的概述

根据中国证券监督管理委员会出具的《关于同意深圳市恒运昌真空技术股份有限公司首次公开发行股票注册的批复》（证监许可〔2025〕2671号），并经上海证券交易所审核同意，公司首次公开发行人民币普通股（A股）1,693.0559 万股，发行价格 92.18元/股，募集资金总额为 156,065.89万元人民币，扣除本次发行费用（不含增值税）14,690.13万元人民币后，募集资金净额为人民币 141,375.76万元。

上述资金已全部到位，经天健会计师事务所（特殊普通合伙）审验并于 2026年1月 22日出具了《验资报告》（天健验〔2026〕3-9号）。公司及子公司已根据相关法律法规、规范性文件的规定，与保荐人及存放募集资金的商业银行签署了募集资金专户监管协议，对募集资金采取专户储存管理。

根据公司实际经营与发展规划，为了提升募集资金的使用效率，保障募集资金投资项目的实施进度，2026 年 10 月 27 日，公司召开第一届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的议案》和《关于部分募投项目增加实施地点的议案》，前述《关于部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的议案》尚需提交股东会审议。募集资金投资项目基本情况及本次调整前后募集资金投资项目情况如下：

募集资金投资项目基本情况表 单位：万元 币种：人民币

变更募集资金投资项目情况表 单位：万元 币种：人民币

注：上表“截止公告日计划累计投资金额”指募投项目募集资金承诺投资总额。

二、本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的具体原因

公司募投项目“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”、“研发与前沿技术创新中心项目”原拟通过购置房屋的方式取得场地，原实施地点为“广东省深圳市宝安区新桥街道万丰中路与南环路交汇处”。2026年9月，公司已竞得深圳市宝安区航城街道相关用地的土地使用权并签署了《深圳市国有建设用地使用权出让合同》，相关土地产权证书事项正按计划推进中。

结合公司目前实际业务开展情况、对市场发展的判断以及战略布局的规划，公司认为购置房屋对公司研发及未来新增业务发展存在一定的局限性，基于公司长远发展考虑，公司决定将“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”、“研发与前沿技术创新中心项目”的实施方式由“购置房屋”变更为“利用自有土地自建房屋”，实施地点由“广东省深圳市宝安区新桥街道万丰中路与南环路交汇处”变更为“广东省深圳市宝安区航城街道黄田杨贝工业区，黄田九路北侧”，同时调整上述两个募投项目的内部投资结构。公司自建办公场所有利于公司改善办公环境并扩大办公空间，有利于公司留住人才、招募优质人才，满足公司未来业务发展的需要。募投项目实施方式调整为利用自有土地自建房屋后，公司可以更加合理地布局各个部门空间，有利于募集资金发挥更大效能。

鉴于研发工作具有一定的连续性，为保障相关研发项目有序推进，公司已于年 月 日召开第一届董事会第十六次会议，审议通过在前述原实施地点到位前，增加公司现有深圳租赁场地作为“研发与前沿技术创新中心项目”的实施地点，先行开展所涉研发工作。本次实施地点、实施方式变更事项尚在稳步推进中，在项目建设完成前，公司现决定同时增加现有深圳租赁场地作为“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”的实施地点，通过多地协同实施合理过渡，有效满足募投项目阶段性建设及企业运营需求，为后续项目全面建成后资源有序转移提供合理过渡安排。

三、本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的具体内容及必要性

（一）本次募投项目变更的具体情况

公司经审慎研究，根据募投项目的实际实施情况，拟将首次公开发行股票募投项目“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”、“研发与前沿技术创新中心项目”的实施方式由“购置房屋”变更为“利用自有土地自建房屋”，实施地点由“广东省深圳市宝安区新桥街道万丰中路与南环路交汇处”变更为“广东省深圳市宝安区航城街道黄田杨贝工业区，黄田九路北侧”，并增加公司现有深圳租赁场地为“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”的实施地点，同时调整上述两个募投项目的内部投资结构，变更前后募集资金总投资金额不变。

1、变更实施地点和实施方式

2、调整内部投资结构

本次募投项目内部投资结构调整前后对比如下：

（1）半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目变更前：

单位：万元

（2）半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目变更后：

单位：万元 （3）研发与前沿技术创新中心项目变更前：

单位：万元 （4）研发与前沿技术创新中心项目变更后：

单位：万元

（二）本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的必要性

1、化解持续经营风险，符合公司战略发展的需求

公司目前处于快速发展阶段，产品受到越来越多客户的认可，业务规模不断扩大，经营业态的日趋复杂，公司对各级各类管理人员的需求日益增加。随着公司业务规模和人员数量持续增长，目前的办公场地和生产空间略显不足，现有场地面积已无法提供有效支撑，亟需增加办公场地以应对不断增长的人员办公需求。另一方面，公司目前在深圳现有场地均采用租赁方式取得，存在租期结束后新场地搬迁、租赁费用上涨等问题，存在一定的可持续经营风险。募投项目原方案计划以购置方式取得办公用房，投资成本更高、资金使用效率低、空间适配度及空间独立性较差。

本次变更为利用自有土地自建方式推进募投项目，拟规划总建筑面积约52,889 ㎡，其中地上建筑面积约 37,736 ㎡。在投资总额不变的情况下，自建方式可获得地上建筑面积比购置方式取得的办公面积更大，公司办公环境的改善以及办公空间的扩大有利于提升员工的满意度，降低人员流动并吸引更多优秀人才。变更后经济效益显著，募集资金的使用效率大大提高。

2、以公司优势产品为核心，加快构建多元化的客户结构体系

公司利用主要产品先发优势实现营收快速增长，未来，公司将持续深耕国内半导体设备市场，同时，基于半导体射频电源同源工艺技术，公司也在争取与其他领域优质的客户逐步建立合作关系，以及寻求在光伏、真空镀膜等其他方向更多的业务机会，以进一步推动公司客户结构及产品结构的多元化，从而实现公司整体业务的均衡发展。募投项目顺利实施后，公司将新增射频电源、匹配器、DC直流电源、LFHP 低频大功率电源、RPS 远程等离子电源产品产能，与此同时，凭借自身设备的技术优势和性能指标，公司将有能力迅速拓展产品的国内外销售渠道，有利于提升公司半导体电源设备相关产品的市场份额，新增项目产品销售将有利于公司整体利润水平的提升，实现公司盈利能力的创新提升。

3、以智能生产为抓手，以智慧管理促运营

随着半导体领域技术以及半导体器件的集成度的不断提高，半导体设备对于工艺规格的要求不断提高，零部件的制造精密度、洁净度要求将越来越高，对相应工艺技术要求也将随之提升。为进一步实现生产流程的精细化，并在控制生产成本的同时满足客户需求，半导体设备零部件制造商的生产需要更加智能。

公司根据自身特点，计划通过本次自建项目配套引进性能更优、智能化水平更高的、更先进的生产制造设备以及自动化测试设备，再结合企业现有 ERP 系统进行升级、新增 OA 协同办公和业务管控平台、APS 高级计划与排程系统、MES 车间生产管理的系统、SCADA 数据采集系统，实现生产制造、经营、管理和决策的智能优化，向模块化、智能化、数字化生产制造车间迈进，从而提高产品的生产效率和良率，实现自身发展的降本增效。同时，公司规划引进的软件信息系统有利于实现对物料传输、识别、分拣、堆码、仓储、检索和发售进行一体化管理，从而完善公司从研发、生产、销售、检测、市场监测全流程贯通的信息化体系，提升公司整体运营效率。

四、本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构对公司的影响

本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构，是基于募投项目建设的实际需要以及公司经营发展规划作出的审慎决策，有利于保障募投项目有效管理和顺利实施，符合公司长远发展战略和全体股东的利益。本次变更未改变募集资金的实际投向及整体投资金额，不会对募投项目的实施产生不利影响，不会对公司正常生产经营、财务状况产生不利影响，不存在损害公司及全体股东利益的情形，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等法律法规、规范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。

五、本次变更事项涉及的有关部门审批情况

截至本核查意见出具之日，项目的相关审批及备案手续正在准备中，本募投项目可能涉及发改、安评、施工审批等行政审批程序，若后续相关批复未取得或取得不及时，将可能导致项目实施进度不及预期。公司将积极与相关机构及部门进行沟通，消除不确定因素，推进批复及时取得，确保项目顺利实施。

六、公司履行的审议程序

公司于 2026 年 10 月 27 日召开第一届董事会战略委员会第九次会议、第一届董事会审计委员会第十五次会议、第一届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的议案》，同意公司将募投项目“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”、“研发与前沿技术创新中心项目”的实施方式由“购置房屋”变更为“利用自有土地自建房屋”，实施地点由“广东省深圳市宝安区新桥街道万丰中路与南环路交汇处”变更为“广东省深圳市宝安区航城街道黄田杨贝工业区，黄田九路北侧”，同时调整上述两个募投项目的内部投资结构。本议案尚需提交股东会审议。

公司于 2026 年 10 月 27 日召开第一届董事会战略委员会第九次会议、第一届董事会第十九次会议，审议通过了《关于部分募投项目增加实施地点的议案》，同意增加公司现有深圳租赁场地为“半导体与真空装备核心零部件智能化生产运营基地项目”的实施地点。本议案无需提交公司股东会审议。

本事项不构成关联交易，亦不构成《上市公司重大资产重组管理办法》规定的重大资产重组。

七、保荐人意见

经核查，本保荐人认为：公司《关于部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的议案》、《关于部分募投项目增加实施地点的议案》已经公司董事会审议通过，其中《关于部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的议案》尚需提交公司股东会审议。公司本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的事项履行了必要的审批程序，符合《上市公司募集资金监管规则》《上海证券交易所科创板股票上市规则》《上海证券交易所科创板上市公司自律监管指引第 1号——规范运作》等法律法规、规范性文件及公司《募集资金管理制度》的规定。公司本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的事项，是基于项目实际情况做出的审慎调整，有利于稳步推进募集资金投资项目的实施，不存在损害公司和全体股东利益的情况。

综上，保荐人对公司本次部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的事项无异议。

（以下无正文）

(本页无正文，为《中信证券股份有限公司关于深圳市恒运昌真空技术股份有限公司部分募投项目变更实施地点、实施方式并调整内部投资结构的核查意见》之签章页）

保荐代表人（签名）：

王纯然

王纯然

曹阳

曹阳