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请问公司在第三代半导体、先进制程芯片制造用的特种气体研发上,有哪些技术布局和突破?

尊敬的投资者,您好!在第三代功率器件半导体领域,公司抢占市场先机,提前布局碳化硅(SiC)、氮化镓(GaN)等新型材料生产所需特种气体的研发与生产,产品完全满足下游客户需求,成功进入全国最大的氮化镓厂和碳化硅厂供应链。在先进制程方面,公司超过20个产品已批量供应先进工艺,实现了先进制程特种气体的国产替代。感谢您的关注。
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