北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年年度股东会之法律意见书

致：盛美半导体设备（上海）股份有限公司

北京市金杜律师事务所上海分所（以下简称本所）接受盛美半导体设备（上海）股份有限公司（以下简称公司）委托，根据《中华人民共和国证券法》（以下简称《证券法》）、《中华人民共和国公司法》（以下简称《公司法》）、中国证券监督管理委员会（以下简称中国证监会）《上市公司股东会规则》（以下简称《股东会规则》）等中华人民共和国境内（以下简称中国境内，为本法律意见书之目的，不包括中国香港特别行政区、中国澳门特别行政区和中国台湾省）现行有效的法律、行政法规、规章和规范性文件和现行有效的公司章程有关规定，指派律师出席了公司于 2026 年 6 月 16 日召开的 2025 年年度股东会（以下简称本次股东会），并就本次股东会相关事项出具本法律意见书。

为出具本法律意见书，本所律师审查了公司提供的以下文件，包括但不限于：

1. 经公司 2025 年第四次临时股东会审议通过的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司章程》（以下简称《公司章程》）；

2. 公司 2026 年 2 月 27 日刊登于上海证券交易所网站的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司第三届董事会第三次会议决议公告》，2026 年 4月28日刊登于上海证券交易所网站的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司第三届董事会第四次会议决议公告》和 2026 年 5 月 27 日刊登于上海证券交易所网站的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司第三届董事会第五次会议决议公告》；

3. 公司 2026 年 5 月 27 日刊登于上海证券交易所网站的《盛美半导体设备（上海）股份有限公司关于召开 2025年年度股东会的通知》（以下简称《2025年年度股东会通知》）；

4. 公司本次股东会股权登记日的股东名册；

5. 出席会议的股东及其他人员的到会登记记录及凭证资料；

6. 上证所信息网络有限公司提供的本次股东会网络投票情况的统计结果；

7. 公司本次股东会议案及涉及相关议案内容的公告等文件；

8. 其他会议文件。

公司已向本所保证，公司已向本所披露一切足以影响本法律意见书出具的事实并提供了本所为出具本法律意见书所要求公司提供的原始书面材料、副本材料、复印材料、承诺函或证明，并无隐瞒记载、虚假陈述和重大遗漏之处；公司提供给本所的文件和材料是真实、准确、完整和有效的，且文件材料为副本或复印件的，其与原件一致和相符。

在本法律意见书中，本所仅对本次股东会召集和召开的程序、出席本次股东会人员资格和召集人资格及表决程序、表决结果是否符合有关法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定发表意见，并不对本次股东会所审议的议案内容以及该等议案所表述的事实或数据的真实性和准确性发表意见。本所仅根据现行有效的中国境内法律法规发表意见，并不根据任何中国境外法律发表意见。

本所依据上述法律、行政法规、规章及规范性文件和《公司章程》的有关规定以及本法律意见书出具日以前已经发生或者存在的事实，严格履行了法定职责，遵循了勤勉尽责和诚实信用原则，对公司本次股东会相关事项进行了充分的核查验证，保证本法律意见书所认定的事实真实、准确、完整，本法律意见书所发表的结论性意见合法、准确，不存在虚假记载、误导性陈述或者重大遗漏，并承担相应法律责任。

本所同意将本法律意见书作为本次股东会的公告材料，随同其他会议文件一并报送有关机构并公告。除此以外，未经本所同意，本法律意见书不得为任何其他人用于任何其他目的。

本所律师根据有关法律法规的要求，按照律师行业公认的业务标准、道德规范和勤勉尽责精神，出席了本次股东会，并对本次股东会召集和召开的有关事实以及公司提供的文件进行了核查验证，现出具法律意见如下：

一、本次股东会的召集、召开程序

（一）本次股东会的召集

2026年2月 26日，公司召开第三届董事会第三次会议，审议通过了《关于提请召开公司2025 年年度股东会的议案》，具体时间及议案内容以届时会议通知为准。

2026年5月 27日，公司以公告形式在上海证券交易所网站等中国证监会指定信息披露媒体刊登了《2025年年度股东会通知》。

（二）本次股东会的召开

1. 本次股东会采取现场会议与网络投票相结合的方式召开。

2. 本次股东会的现场会议于 2026 年 6 月 16 日 9:00 在中国（上海）自由贸易试验区临港新片区新元南路 388号会议室召开，由公司董事长 HUI WANG先生主持本次股东会。

3. 通过上海证券交易所股东会网络投票系统进行网络投票的时间为：2026年 月 日。其中，通过交易系统投票平台的投票时间为股东会召开当日的交易时间段，即 9:15-9:25，9:30-11:30，13:00-15:00；通过互联网投票平台的投票时间为股东会召开当日的 9:15-15:00。

经本所律师核查，本次股东会召开的实际时间、地点、方式、会议审议的议案与《2025 年年度股东会通知》中公告的时间、地点、方式、提交会议审议的事项一致。

本所律师认为，本次股东会的召集、召开履行了法定程序，符合法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的相关规定。

二、出席本次股东会会议人员资格与召集人资格

（一）出席本次股东会的人员资格

本所律师对本次股东会股权登记日的股东名册、出席本次股东会的法人股东的持股证明、法定代表人证明书或授权委托书、出席本次股东会的自然人股东的持股证明文件、个人身份证明或授权委托书等相关资料进行了核查，确认现场出席公司本次股东会的股东及股东代理人共 9 名，代表有表决权股份 353,012,197股，占公司有表决权股份总数的 73.2158%。

根据上证所信息网络有限公司提供的网络投票结果，参与本次股东会网络投票的股东共140名，代表有表决权股份 25,588,353 股，占公司有表决权股份总数的 5.3071%。

其中，除公司董事、高级管理人员以及单独或合计持有公司 5%以上股份股东以外的股东（以下简称中小投资者）共 147人，代表有表决权股份 25,681,661股，占公司有表决权股份总数的 5.3265%。

综上，出席本次股东会的股东人数共计 149 名，代表有表决权股份378,600,550 股，占公司有表决权股份总数的 78.5228%。

除上述出席本次股东会人员以外，出席本次股东会会议的人员还包括公司董事、董事会秘书以及本所律师，公司其他高级管理人员列席了本次股东会。

前述参与本次股东会网络投票的股东的资格，由网络投票系统提供机构验证，本所律师无法对该等股东的资格进行核查，在该等参与本次股东会网络投票的股东的资格均符合法律、法规、规范性文件及《公司章程》规定的前提下，本所律师认为，出席本次股东会的会议人员资格符合法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定。

（二） 召集人资格

本次股东会的召集人为公司董事会，召集人资格符合相关法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定。

三、本次股东会的表决程序、表决结果

（一）本次股东会的表决程序

1.本次股东会审议的议案与《盛美半导体设备（上海）股份有限公司关于召开2025年年度股东会的通知》相符，没有出现修改原议案或增加新议案的情形。

2.本次股东会采取现场投票与网络投票相结合的表决方式。经本所律师见证，本次股东会现场投票以记名投票方式表决了会议通知中列明的议案。现场会议的表决由股东代表及本所律师共同进行了计票、监票。

3.参与网络投票的股东在规定的网络投票时间内通过上海证券交易所交易系统或互联网投票系统行使了表决权，网络投票结束后，上海证券交易所股东会网络投票系统反馈了网络投票的统计数据文件。

4.会议主持人结合现场会议投票和网络投票的统计结果，宣布了议案的表决情况，并根据表决结果宣布了议案的通过情况。

（二）本次股东会的表决结果

经本所律师见证，本次股东会按照法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定，审议通过了如下议案：

议案1-21为非累积投票议案，其表决情况如下：

议案22 及议案23采取累积投票方式逐项表决，具体表决情况及结果如下：

本次股东会审议议案中，议案 2至议案14、议案18至议案21 的中小投资者表决情况如下：

本次股东会审议议案中，议案 22和议案23的中小投资者表决情况如下：

本次股东会审议议案中，议案 5 至议案 16 为股东会特别决议事项，已经出席本次股东会的股东及股东代理人所持表决权的三分之二以上同意通过。

本次股东会审议议案中，就议案 4 的审议，关联股东 ACM RESEARCH, INC.以及持有公司股票的董事进行了回避表决；就议案 5、6、7 的审议，参与公司2026 年限制性股票激励计划的激励对象及与激励对象存在关联关系的股东进行了回避表决；就议案 20 的审议，持有公司股票的董事、高级管理人员以及其他与公司董事、高级管理人员存在关联关系的股东进行了回避表决。

本所律师认为，公司本次股东会表决程序符合相关法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定，表决结果合法、有效。

相关数据合计数与各分项数值之和不等于 100%系由四舍五入造成。

四、结论意见

综上，本所律师认为，公司本次股东会的召集和召开程序符合《公司法》《证券法》等相关法律、行政法规、《股东会规则》和《公司章程》的规定；出席本次股东会的人员和召集人的资格合法有效；本次股东会的表决程序和表决结果合法有效。

（以下无正文，为签章页）

(本页无正文，为《北京市金杜律师事务所上海分所关于盛美半导体设备（上海）股份有限公司2025年年度股东会之法律意见书》的签章页）

北京市金杜律师事务所上海分所

经办律师： 师：

徐

吴绣

单位负责人：

张明

2026年6月16日