| 股东名称 | 持股数(万股) | 占总股本比(%) | 增减情况(万股) | 股东类别 |
|---|---|---|---|---|
| 杨森茂 | 399.38 | 4.16 | -139.64 | 自然人 |
| 天水华天科技股份有限公司 | 261.56 | 2.72 | -64.2 | 其他机构 |
| 钱方方 | 88.55 | 0.92 | -18.95 | 自然人 |
| 李启明 | 84.88 | 0.88 | -32.85 | 自然人 |
| 招商银行股份有限公司-嘉实竞争力优选混合型证券投资基金 | 81.40 | 0.85 | 不变 | 证券投资基金 |
| 深圳哈勃科技投资合伙企业(有限合伙) | 80.69 | 0.84 | -40.35 | 其他机构 |
| 薛建民 | 69.67 | 0.73 | -20.24 | 自然人 |
| 陈青 | 61.89 | 0.65 | -24.78 | 自然人 |
| 广发证券股份有限公司-国泰中证半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 54.23 | 0.57 | 新进 | 证券投资基金 |
| 长江证券股份有限公司-华夏上证科创板半导体材料设备主题交易型开放式指数证券投资基金 | 45.94 | 0.48 | 新进 | 证券投资基金 |
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